數字式用于半導體工藝穩定氣體混合裝置

產品名稱: 數字式用于半導體工藝穩定氣體混合裝置

產品型號: GM系列

產品特點: 數字式用于半導體工藝穩定氣體混合裝置
日本 Tokyokeiki（東京計機）PMG-1A 是一款高穩定性、數字式、內置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體按設定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于半導體工藝、燃料電池測試、傳感器校準、生物發酵、催化劑評價等需要長時間穩定混合氣的場合

數字式用于半導體工藝穩定氣體混合裝置 的詳細介紹

數字式用于半導體工藝穩定氣體混合裝置

日本 Tokyokeiki（東京計機）PMG-1A 是一款高穩定性、數字式、內置型氣體混合裝置（Programmable Gas Mixer），可將 2–3 種高純氣體按設定比例 ±0.1 % F.S. 精度連續混合，輸出流量 10–1000 mL/min，適用于半導體工藝、燃料電池測試、傳感器校準、生物發酵、催化劑評價等需要長時間穩定混合氣的場合。

? 產品定位

表格

復制

項目	說明
型號	PMG-1A（Programmable Mixer Gas）
用途	工藝用混合氣在線配制 / 實驗室標準氣發生
通道數	2 或 3 路（可擴展至 5 路）
控制方式	數字式質量流量控制器（MFC）+ PID 反饋
特點	±0.1 % 混合比、內置觸摸屏、RS-485 / 以太網、無脈沖**

?? 核心規格

表格

復制

參數	規格
混合比范圍	0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %）
混合精度	±0.1 % F.S.（與 MFC 精度疊加）
輸出流量	10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min）
MFC 精度	±1 % S.P.（可選 ±0.5 %）
響應時間	≤ 2 s 到達 90 % 設定值
輸出壓力	0–0.5 MPa（背壓可調）
氣體種類	N?、Air、H?、Ar、He、O?、CO?、CH? 等（腐蝕性選不銹鋼）
接氣口	1/4″ Swagelok 雙卡套（可選 6 mm 快擰）
密封材質	Viton（標準），可選 PTFE、金屬密封
電源·功耗	AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W
通訊接口	RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON）
內置屏幕	5 寸彩色觸控，實時流量、比例、趨勢曲線
記錄功能	8 GB 閃存，>10 年分鐘數據
外形·重量	430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg
安裝方式	19″ 3U 機架 / 臺式 / 壁掛

?? 控制模式

定比模式 | 設定 A/B/C 比例，自動平衡總流量。
定流模式 | 總流量固定，改變其中一路比例。
程序模式 | 16 段可編程序，支持斜坡、保持、循環（適合催化劑升溫評價）。
遠程模式 | Modbus TCP，PLC/工控機實時改寫比例。

?? 典型應用

表格

復制

行業	混合氣	用途	結果
半導體	N?/H? (5 %)	退火氣氛	比例波動 < 0.05 %，提升良率
燃料電池	H?/空氣 (30 %)	單電池測試	背壓 0.4 MPa，穩定 200 h
傳感器校準	CO?/N? (0–2000 ppm)	NDIR 標定	線性相關系數 R2=0.9998
生物發酵	Air/CO?/O?	溶氧控制	減少鋼瓶數量 70 %
催化劑	CH?/He (10 %)	升溫還原	程序升溫 16 段自動切換

?? 穩定性數據（實測）

24 h 漂移 | 比例變化 < 0.03 % F.S.
溫度系數 | < 0.01 % / ℃（-10–50 ℃）
重復性 | 同一比例 10 次，RSD < 0.05 %

? 產品定位

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復制

項目	說明
型號	PMG-1A（Programmable Mixer Gas）
用途	工藝用混合氣在線配制 / 實驗室標準氣發生
通道數	2 或 3 路（可擴展至 5 路）
控制方式	數字式質量流量控制器（MFC）+ PID 反饋
特點	±0.1 % 混合比、內置觸摸屏、RS-485 / 以太網、無脈沖**

?? 核心規格

表格

復制

參數	規格
混合比范圍	0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %）
混合精度	±0.1 % F.S.（與 MFC 精度疊加）
輸出流量	10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min）
MFC 精度	±1 % S.P.（可選 ±0.5 %）
響應時間	≤ 2 s 到達 90 % 設定值
輸出壓力	0–0.5 MPa（背壓可調）
氣體種類	N?、Air、H?、Ar、He、O?、CO?、CH? 等（腐蝕性選不銹鋼）
接氣口	1/4″ Swagelok 雙卡套（可選 6 mm 快擰）
密封材質	Viton（標準），可選 PTFE、金屬密封
電源·功耗	AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W
通訊接口	RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON）
內置屏幕	5 寸彩色觸控，實時流量、比例、趨勢曲線
記錄功能	8 GB 閃存，>10 年分鐘數據
外形·重量	430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg
安裝方式	19″ 3U 機架 / 臺式 / 壁掛

?? 控制模式

定比模式 | 設定 A/B/C 比例，自動平衡總流量。
定流模式 | 總流量固定，改變其中一路比例。
程序模式 | 16 段可編程序，支持斜坡、保持、循環（適合催化劑升溫評價）。
遠程模式 | Modbus TCP，PLC/工控機實時改寫比例。

?? 典型應用

表格

復制

行業	混合氣	用途	結果
半導體	N?/H? (5 %)	退火氣氛	比例波動 < 0.05 %，提升良率
燃料電池	H?/空氣 (30 %)	單電池測試	背壓 0.4 MPa，穩定 200 h
傳感器校準	CO?/N? (0–2000 ppm)	NDIR 標定	線性相關系數 R2=0.9998
生物發酵	Air/CO?/O?	溶氧控制	減少鋼瓶數量 70 %
催化劑	CH?/He (10 %)	升溫還原	程序升溫 16 段自動切換