半導(dǎo)體處理用粉體捕集器過(guò)濾器

半導(dǎo)體處理用粉體捕集器過(guò)濾器

當(dāng)粉體捕集器的升壓開(kāi)始時(shí)，干泵與粉體捕集器之間的壓力會(huì)上升。
具體來(lái)說(shuō)，干式泵的背壓會(huì)上升。
通常，這被認(rèn)為是0.03MPa左右時(shí)更換粉體捕集過(guò)濾器的標(biāo)準(zhǔn)值。
另外，干式泵電流值、芯片的處理張數(shù)、真空室的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間等作為基準(zhǔn)
也有這種情況。當(dāng)粉體捕集器的升壓開(kāi)始時(shí)，干泵與粉體捕集器之間的壓力會(huì)上升。
具體來(lái)說(shuō)，干式泵的背壓會(huì)上升。
通常，這被認(rèn)為是0.03MPa左右時(shí)更換粉體捕集過(guò)濾器的標(biāo)準(zhǔn)值。
另外，干式泵電流值、芯片的處理張數(shù)、真空室的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間等作為基準(zhǔn)
也有這種情況。當(dāng)粉體捕集器的升壓開(kāi)始時(shí)，干泵與粉體捕集器之間的壓力會(huì)上升。
具體來(lái)說(shuō)，干式泵的背壓會(huì)上升。
通常，這被認(rèn)為是0.03MPa左右時(shí)更換粉體捕集過(guò)濾器的標(biāo)準(zhǔn)值。
另外，干式泵電流值、芯片的處理張數(shù)、真空室的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間等作為基準(zhǔn)
也有這種情況。當(dāng)粉體捕集器的升壓開(kāi)始時(shí)，干泵與粉體捕集器之間的壓力會(huì)上升。
具體來(lái)說(shuō)，干式泵的背壓會(huì)上升。
通常，這被認(rèn)為是0.03MPa左右時(shí)更換粉體捕集過(guò)濾器的標(biāo)準(zhǔn)值。
另外，干式泵電流值、芯片的處理張數(shù)、真空室的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間等作為基準(zhǔn)
也有這種情況。當(dāng)粉體捕集器的升壓開(kāi)始時(shí)，干泵與粉體捕集器之間的壓力會(huì)上升。
具體來(lái)說(shuō)，干式泵的背壓會(huì)上升。
通常，這被認(rèn)為是0.03MPa左右時(shí)更換粉體捕集過(guò)濾器的標(biāo)準(zhǔn)值。
另外，干式泵電流值、芯片的處理張數(shù)、真空室的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間等作為基準(zhǔn)
也有這種情況。當(dāng)粉體捕集器的升壓開(kāi)始時(shí)，干泵與粉體捕集器之間的壓力會(huì)上升。
具體來(lái)說(shuō)，干式泵的背壓會(huì)上升。
通常，這被認(rèn)為是0.03MPa左右時(shí)更換粉體捕集過(guò)濾器的標(biāo)準(zhǔn)值。
另外，干式泵電流值、芯片的處理張數(shù)、真空室的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間等作為基準(zhǔn)
也有這種情況。