產(chǎn)品資料
高均勻性半導(dǎo)體金屬鹵化物 UV曝光照明單元
產(chǎn)品名稱(chēng): 高均勻性半導(dǎo)體金屬鹵化物 UV曝光照明單元
產(chǎn)品型號(hào): MUL-135
產(chǎn)品特點(diǎn): 高均勻性半導(dǎo)體金屬鹵化物 UV曝光照明單元MUL-135 是一套高均勻性、高穩(wěn)定性的 金屬鹵化物 UV曝光照明單元，專(zhuān)為精密光刻和微結(jié)構(gòu)曝光設(shè)計(jì)，適用于半導(dǎo)體、MEMS、PCB 等行業(yè)的 i-line（365 nm）曝光系統(tǒng)，是替代傳統(tǒng)汞燈、提升曝光一致性的理想光源模塊。日本 Cerma Paecision（セルマ?プレシジョン）MUL-135 是一款專(zhuān)為 金屬鹵化物組合光源 設(shè)計(jì)的 UV曝光
高均勻性半導(dǎo)體金屬鹵化物 UV曝光照明單元 的詳細(xì)介紹
高均勻性半導(dǎo)體金屬鹵化物 UV曝光照明單元
高均勻性半導(dǎo)體金屬鹵化物 UV曝光照明單元
日本 Cerma Paecision（セルマ?プレシジョン）MUL-135 是一款專(zhuān)為 金屬鹵化物組合光源 設(shè)計(jì)的 UV曝光照明單元，主要用于半導(dǎo)體、光電子、MEMS、印刷電路板（PCB）、液晶面板等行業(yè)的 精密光刻曝光工藝 中，提供高穩(wěn)定性、高均勻性的紫外照明。
? 產(chǎn)品核心特點(diǎn)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 光源類(lèi)型 | 金屬鹵化物燈（Metal Halide）組合 |
| 型號(hào) | MUL-135 |
| 用途 | UV曝光照明單元（非單獨(dú)燈管，是整套照明模組） |
| 輸出波長(zhǎng) | 主峰 365 nm（i-line），可選配 405 nm（h-line）或組合 |
| 照明均勻性 | ≥ 98%（在有效區(qū)域內(nèi)） |
| 曝光面積 | 支持 4 英寸、6 英寸、8 英寸掩模版（可定制） |
| 燈管功率 | 135 W（組合總功率） |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 + 熱管散熱（低振動(dòng)、無(wú)液冷） |
| 控制方式 | 0-100% 線(xiàn)性調(diào)光，支持快門(mén)、定時(shí)、外部觸發(fā) |
| 使用壽命 | 平均 2,000 小時(shí)（在額定功率下） |
| 接口 | RS-232C / I/O 觸發(fā) / 腳踏開(kāi)關(guān)（可選） |
? 應(yīng)用方向
| 行業(yè) | 用途 |
|---|---|
| 半導(dǎo)體 | 光刻膠曝光、晶圓級(jí)封裝（WLP） |
| MEMS | SU-8 膠、厚膜光刻 |
| PCB/FPC | 干膜曝光、精密線(xiàn)路圖案轉(zhuǎn)移 |
| LCD/OLED | 配向膜、微透鏡陣列曝光 |
| 光學(xué)元件 | 光波導(dǎo)、衍射光柵、微結(jié)構(gòu)復(fù)制 |
? 優(yōu)勢(shì)總結(jié)
- 高均勻性照明：適合微米級(jí)線(xiàn)條曝光，邊緣清晰度高
- 穩(wěn)定輸出：內(nèi)置反饋傳感器，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)燈管功率，保證曝光一致性
- 模塊化設(shè)計(jì)：可替換燈管、濾光片、反光罩，維護(hù)方便
- 低熱影響：高效散熱結(jié)構(gòu)，減少熱漂移對(duì)掩模的影響
- 兼容性強(qiáng)：可接入現(xiàn)有曝光機(jī)、掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)、步進(jìn)式光刻機(jī)系統(tǒng)
? 可選配件
- 濾光片模塊（365 nm 帶通、405 nm 帶通）
- 快門(mén)單元（氣動(dòng)或電動(dòng)）
- 光纖導(dǎo)光接口（用于遠(yuǎn)程照明）
- 燈管壽命監(jiān)控模塊（提醒更換）
? 總結(jié)一句話(huà)：
MUL-135 是一套高均勻性、高穩(wěn)定性的 金屬鹵化物 UV曝光照明單元，專(zhuān)為精密光刻和微結(jié)構(gòu)曝光設(shè)計(jì)，適用于半導(dǎo)體、MEMS、PCB 等行業(yè)的 i-line（365 nm）曝光系統(tǒng)，是替代傳統(tǒng)汞燈、提升曝光一致性的理想光源模塊。
日本 Cerma Paecision（セルマ?プレシジョン）MUL-135 是一款專(zhuān)為 金屬鹵化物組合光源 設(shè)計(jì)的 UV曝光照明單元，主要用于半導(dǎo)體、光電子、MEMS、印刷電路板（PCB）、液晶面板等行業(yè)的 精密光刻曝光工藝 中，提供高穩(wěn)定性、高均勻性的紫外照明。
? 產(chǎn)品核心特點(diǎn)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 光源類(lèi)型 | 金屬鹵化物燈（Metal Halide）組合 |
| 型號(hào) | MUL-135 |
| 用途 | UV曝光照明單元（非單獨(dú)燈管，是整套照明模組） |
| 輸出波長(zhǎng) | 主峰 365 nm（i-line），可選配 405 nm（h-line）或組合 |
| 照明均勻性 | ≥ 98%（在有效區(qū)域內(nèi)） |
| 曝光面積 | 支持 4 英寸、6 英寸、8 英寸掩模版（可定制） |
| 燈管功率 | 135 W（組合總功率） |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 + 熱管散熱（低振動(dòng)、無(wú)液冷） |
| 控制方式 | 0-100% 線(xiàn)性調(diào)光，支持快門(mén)、定時(shí)、外部觸發(fā) |
| 使用壽命 | 平均 2,000 小時(shí)（在額定功率下） |
| 接口 | RS-232C / I/O 觸發(fā) / 腳踏開(kāi)關(guān)（可選） |
? 應(yīng)用方向
| 行業(yè) | 用途 |
|---|---|
| 半導(dǎo)體 | 光刻膠曝光、晶圓級(jí)封裝（WLP） |
| MEMS | SU-8 膠、厚膜光刻 |
| PCB/FPC | 干膜曝光、精密線(xiàn)路圖案轉(zhuǎn)移 |
| LCD/OLED | 配向膜、微透鏡陣列曝光 |
| 光學(xué)元件 | 光波導(dǎo)、衍射光柵、微結(jié)構(gòu)復(fù)制 |
? 優(yōu)勢(shì)總結(jié)
- 高均勻性照明：適合微米級(jí)線(xiàn)條曝光，邊緣清晰度高
- 穩(wěn)定輸出：內(nèi)置反饋傳感器，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)燈管功率，保證曝光一致性
- 模塊化設(shè)計(jì)：可替換燈管、濾光片、反光罩，維護(hù)方便
- 低熱影響：高效散熱結(jié)構(gòu)，減少熱漂移對(duì)掩模的影響
- 兼容性強(qiáng)：可接入現(xiàn)有曝光機(jī)、掩模對(duì)準(zhǔn)機(jī)、步進(jìn)式光刻機(jī)系統(tǒng)
? 可選配件
- 濾光片模塊（365 nm 帶通、405 nm 帶通）
- 快門(mén)單元（氣動(dòng)或電動(dòng)）
- 光纖導(dǎo)光接口（用于遠(yuǎn)程照明）
- 燈管壽命監(jiān)控模塊（提醒更換）
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