產品資料
便攜式半導體工業實時監測高速響應型氧氣計
產品名稱: 便攜式半導體工業實時監測高速響應型氧氣計
產品型號: GP-200
產品特點: 便攜式半導體工業實時監測高速響應型氧氣計GP-200 便攜式半導體制造工序工業用氧氣計便攜 · 半導體工序 · 工業氧 · 真空/大氣雙模式0-100 %Vol · ±0.1 %Vol · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.9 kg · 5 年壽命
便攜式半導體工業實時監測高速響應型氧氣計 的詳細介紹
便攜式半導體工業實時監測高速響應型氧氣計
便攜式半導體工業實時監測高速響應型氧氣計
一、產品定位
- 便攜式半導體制造工序：MOCVD、干刻、離子注入、ALD、PVD
- 工業氧氣計：0-100 %Vol，±0.1 %Vol，真空/大氣雙模式
- 便攜式：0.9 kg，底面積 A5 紙，可手提移動
- GP-200：真空 ≤ 1×10?? Pa，0.9 kg，5 年壽命
二、核心技術參數（GP-200）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 檢測原理 | 電化學（Clark 電池） |
| 測量范圍 | 0 – 100 %Vol（O?） |
| 精度 | ±0.1 %Vol（25 ℃, 1 atm） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內置泵） |
| 響應時間 | < 10 s（T90） |
| 真空接口 | NW16（可轉 NW25/NW40） |
| 大氣接口 | 寶塔 Φ6 mm（可轉 1/4-28） |
| 電源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.9 kg |
| 壽命 | 5 年（傳感器） |
三、功能亮點
- 0-100 %Vol 全范圍：電化學 Clark 電池，全范圍精度 ±0.1 %Vol
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接采樣，無需外泵
- < 10 s 高速響應：T90 < 10 s，適合快速氧變化
- 0.9 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
- 5 年壽命：電化學傳感器，5 年免維護
- 即插即用：12 V 即插即用，5 秒完成連接
四、典型應用系統
半導體 MOCVD 氧監測┌─ MOCVD 腔體 ─┐│ │O?← GP-200 ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ──────┘- 真空度 ≤ 1×10?? Pa，0-100 %Vol 實時監測
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環控制
五、實測數據（半導體驗證）
- 真空：1×10?? Pa，25 ℃
- GP-200 真空版：
- O? 21 %Vol（±0.1 %Vol）
- 響應時間 8 s（T90）
- 壽命 5 年（連續運行）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| GP-200-VAC | 真空版（≤1×10?? Pa） |
| GP-200-AIR | 大氣版（內置泵） |
| GP-200-NW16 | NW16 真空饋通套件 |
| GP-200-RS485 | RS-485 輸出（標準） |
七、維護與可靠性
- 傳感器：5 年壽命，免維護
- 真空饋通：每月清潔一次
一、產品定位
- 便攜式半導體制造工序：MOCVD、干刻、離子注入、ALD、PVD
- 工業氧氣計：0-100 %Vol，±0.1 %Vol，真空/大氣雙模式
- 便攜式：0.9 kg，底面積 A5 紙，可手提移動
- GP-200：真空 ≤ 1×10?? Pa，0.9 kg，5 年壽命
二、核心技術參數（GP-200）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 檢測原理 | 電化學（Clark 電池） |
| 測量范圍 | 0 – 100 %Vol（O?） |
| 精度 | ±0.1 %Vol（25 ℃, 1 atm） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內置泵） |
| 響應時間 | < 10 s（T90） |
| 真空接口 | NW16（可轉 NW25/NW40） |
| 大氣接口 | 寶塔 Φ6 mm（可轉 1/4-28） |
| 電源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.9 kg |
| 壽命 | 5 年（傳感器） |
三、功能亮點
- 0-100 %Vol 全范圍：電化學 Clark 電池，全范圍精度 ±0.1 %Vol
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接采樣，無需外泵
- < 10 s 高速響應：T90 < 10 s，適合快速氧變化
- 0.9 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
- 5 年壽命：電化學傳感器，5 年免維護
- 即插即用：12 V 即插即用，5 秒完成連接
四、典型應用系統
半導體 MOCVD 氧監測┌─ MOCVD 腔體 ─┐│ │O?← GP-200 ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ──────┘- 真空度 ≤ 1×10?? Pa，0-100 %Vol 實時監測
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環控制
五、實測數據（半導體驗證）
- 真空：1×10?? Pa，25 ℃
- GP-200 真空版：
- O? 21 %Vol（±0.1 %Vol）
- 響應時間 8 s（T90）
- 壽命 5 年（連續運行）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| GP-200-VAC | 真空版（≤1×10?? Pa） |
| GP-200-AIR | 大氣版（內置泵） |
| GP-200-NW16 | NW16 真空饋通套件 |
| GP-200-RS485 | RS-485 輸出（標準） |
七、維護與可靠性
- 傳感器：5 年壽命，免維護
- 真空饋通：每月清潔一次
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