產品資料
小型加壓供油真空排氣用回轉泵
產品名稱: 小型加壓供油真空排氣用回轉泵
產品型號: EM·RV系列
產品特點: 小型加壓供油真空排氣用回轉泵真空排氣專用 · 加壓供油 · 小型 · 低振動5-28 m³/h · 極限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移動安裝一、產品定位真空排氣專用：半導體、LED、分析儀器、實驗室前級真空加壓供油：內置齒輪泵強制潤滑，高負荷連續運行不卡死小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可放通風櫥/移動車EM·RV 系列：EM 經濟型，RV
小型加壓供油真空排氣用回轉泵 的詳細介紹
小型加壓供油真空排氣用回轉泵
小型加壓供油真空排氣用回轉泵
真空排氣專用 · 加壓供油 · 小型 · 低振動
5-28 m3/h · 極限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移動安裝
一、產品定位
- 真空排氣專用：半導體、LED、分析儀器、實驗室前級真空
- 加壓供油：內置齒輪泵強制潤滑，高負荷連續運行不卡死
- 小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可放通風櫥/移動車
- EM·RV 系列：EM 經濟型，RV 重載型，同頁選型
二、核心技術參數（EM·RV 系列）
| 型號 | 抽速 | 極限真空 | 重量 | 尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| EM-5 | 5 m3/h | 0.5 Pa | 16 kg | 297×210×297 mm |
| EM-10 | 10 m3/h | 0.5 Pa | 22 kg | 420×297×320 mm |
| RV-20 | 20 m3/h | 0.5 Pa | 35 kg | 500×350×380 mm |
| RV-28 | 28 m3/h | 0.5 Pa | 46 kg | 600×420×450 mm |
| 通用參數 | |
|---|---|
| 原理 | 單級油旋片 + 加壓供油（齒輪泵） |
| 加壓供油 | 0.3 MPa 強制循環，高負荷連續運行 |
| 油類型 | VG-68 高耐磨油（ANLET 專用） |
| 極限真空 | 0.5 Pa（0.005 Torr） |
| 最大允許壓力 | 0.1 MPa（abs） |
| 油逆流防止 | 內置電磁閥（可選） |
| 冷卻方式 | 空冷（強制風扇） |
| 進氣口 | NW16 / NW25 / NW40（型號對應） |
| 排氣口 | 寶塔 Φ10 mm（可轉 NW16） |
| 電源 | 單相 200 V 50/60 Hz，功率 0.37 – 1.5 kW |
| 噪聲 | ≤ 58 dB(A) @ 50 Hz（1 m） |
| 振動 | < 2.3 m/s2（無需減振墊） |
| 壽命 | 30,000 h（連續運行） |
三、功能亮點
- 0.5 Pa 極限：比同級泵極限低 50 %，適合高真級
- 加壓供油：0.3 MPa 強制循環，24 h×365 d 連續運行不卡死
- 小型低振動：16 kg 起，底面積 A4-A3，可手提移動
- 空冷無水管：并排安裝，產線無需冷卻水改造
- < 2.3 m/s2 低振動：可直接放樓層/潔凈室，無需地基減振
- ≤ 58 dB 低噪音：比水冷泵低 10 dB，24 h 運行不擾人
四、典型應用系統
半導體前級真空┌─ 工藝腔體 ─┐│ │進口← EM-10 ← 粉塵過濾器（可選）│ │└─ 回大氣 ─────┘- 泵進口接工藝腔體，0.5 Pa 極限，抽氣時間縮短 30 %
- 粉塵過濾器捕集微粒，延長泵壽命
五、實測數據（實驗室驗證）
- 工藝腔體 50 L，室溫 25 ℃
- EM-10 50 Hz 運行：
- 2 min 達到 10 Pa
- 5 min 極限 0.5 Pa
- 連續 8 h 油溫 <70 ℃，無冷卻水
- 振動 < 2.3 m/s2（天平無漂移）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| EM-10-200 | 200 V 單相標準型 |
| EM-10-EX | 防爆型 Ex d IIB T4（可選） |
| EM-10-CT | 溶劑冷阱套件（玻璃+干冰） |
| EM-10-NW25 | NW25 快接法蘭套件 |
七、維護與可靠性
- 油：VG-68 高耐磨，每 3,000 h 更換
- 加壓油泵：齒輪泵，壽命 >30,000 h，免維護
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