產品資料
光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵
產品名稱: 光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵
產品型號: TRV系列
產品特點: 光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵日本 Unozawa（宇野澤）TRV 系列是一款“多級直聯式干式羅茨真空泵"，明確將其列為光學工業適用機型，可全程無油運行，滿足光學鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求 。核心特點如下：結構多級羅茨轉子直聯變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔立式布局，占地 ≤ 0.2 m²，可穿墻安裝，維護面僅正面一側 光學行業對應性能單臺抽速 180-1 200 m³
光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵 的詳細介紹
光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵
光學工業適用多級直聯式干式羅茨真空泵
日本 Unozawa（宇野澤）TRV 系列是一款“多級直聯式干式羅茨真空泵"，明確將其列為光學工業適用機型，可全程無油運行，滿足光學鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求。核心特點如下：
- 結構
- 多級羅茨轉子直聯變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔
- 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護面僅正面一側
- 光學行業對應性能
- 單臺抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號可選，大氣壓→10 Pa 連續工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
- 內置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學元件水痕
- 轉子經動平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級，可直接放于潔凈室或光學車間內
- 材質與潔凈度
- 過流部標準陽極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規格，滿足 100 級潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
- 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮氣屏障，實現 ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
- 典型光學工藝
- 精密光學鍍膜機（電子束蒸發、離子輔助 IAD）粗抽與維持
- 相機鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
- 光學塑料顆粒干燥前級泵，防止油分子反擴散造成黃變
日本 Unozawa（宇野澤）TRV 系列是一款“多級直聯式干式羅茨真空泵"，明確將其列為光學工業適用機型，可全程無油運行，滿足光學鍍膜、鏡頭脫水等潔凈度要求。核心特點如下：
- 結構
- 多級羅茨轉子直聯變頻電機，無齒輪箱、無潤滑油接觸真空腔
- 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護面僅正面一側
- 光學行業對應性能
- 單臺抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號可選，大氣壓→10 Pa 連續工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
- 內置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學元件水痕
- 轉子經動平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級，可直接放于潔凈室或光學車間內
- 材質與潔凈度
- 過流部標準陽極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規格，滿足 100 級潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
- 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮氣屏障，實現 ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
- 典型光學工藝
- 精密光學鍍膜機（電子束蒸發、離子輔助 IAD）粗抽與維持
- 相機鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
- 光學塑料顆粒干燥前級泵，防止油分子反擴散造成黃變
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