產品資料
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
產品名稱: 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
產品型號:
產品特點: 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列GPW系列的特點廣域測量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量。省線：通過集成傳感器和控制器實現省線，節省空間和省電可見度更高：配備可確認異常的LED一鍵式調節：一鍵式可調節大氣壓和零點可維護性：易于更換探頭燈絲材料/鉑（Pt）：燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。測量值輸出信號：壓力為0至10V對數輸出標準設備改善的抗沖擊性：
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列 的詳細介紹
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
用
- 用于各種制造設備（例如太陽能電池，FPD，半導體和電子零件）的低真空區域中的過程控制
- 用于各種工業設備（例如熔爐）的低真空區域中的過程控制
- 用于在具有許多處理腔室的各種制造設備的低真空區域中進行過程控制，例如在線型和單晶片型
規范
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可連接探針 | 之一 | ||
| 自適應探頭 | SWP-16（NW-16） | ||
| 測量壓力范圍 | 5.0×10 -2?1.0 ×10 5帕 | ||
| 測量精度* | 1×10 -1至1××10 4 Pa：±10％ 5.0×10 -2至1.0×10 -1 Pa，1×10 4 Pa至1×10 5 Pa：±20％ | ||
| 重復性 | 1 x 10 -1 Pa至1 x 10 4 Pa：±2％ | ||
| 采樣時間 | 50毫秒5次移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0?10 V | ||
| 壓力指示（對數輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位 | |||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入??信號 | 集電極開路輸入，負邏輯 ADJ調整（零點調整，大氣壓調整） | -- | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 錯誤信號 設定點1、2 | -- | |
| 監控設定點 | 設定點1，2：0至10 V日志輸出 | -- | |
| 串行通訊規格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源，錯誤指示燈 | ||
| SET-1：設定點1 LED SET-2：設定點2 LED | -- | ||
| 燈絲材料 | 鉑 | ||
| 工作溫度極限 | 10-40°攝氏度 | ||
| 工作濕度范圍 | 15至80％（但無凝結） | ||
| IP防護等級 | IP30（傳感器單元） | ||
| 安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
| 電源電壓 | DC 18 V?30 V，2 W（開機時為4.8 W） | ||
| I / O連接器 | D-sub15針（M2.6螺釘） | ||
| 大眾 | 150克（含SWP-16） | ||
| 外形尺寸（電源部分）W xD x H（毫米） | 70 x 46 x 28 | ||
| 符合標準 | CE認證 | ||
*大氣壓調整和零點調整后的精度。
尺寸圖
單位：毫米
*規格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
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