日本shibaura羅茨泵 TMB系列

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura羅茨泵 TMB系列

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura羅茨泵 TMB系列
TMB系列的特點(diǎn)
由于使用了電機(jī)直接連接型，因此產(chǎn)生的灰塵更少。
低振動(dòng)和低噪音
易于維護(hù)和檢查的結(jié)構(gòu)
通過控制變頻器（選件）可以排出大氣壓

日本shibaura羅茨泵 TMB系列 的詳細(xì)介紹

日本shibaura羅茨泵 TMB系列

TMB系列陣容

模型	類型	單元	TMB-302	TMB-600
設(shè)計(jì)抽速	移位	50 Hz，m ³ /小時(shí)	250	500
設(shè)計(jì)抽速	移位	60赫茲，米³ /小時(shí)	300	600
極限壓力	極限壓力	帕	10 ^-2	10 ^-2
吸入側(cè)極限壓力	大工作壓力	50 Hz，m ³ /小時(shí)	2.7	2.7
吸入側(cè)極限壓力	大工作壓力	60赫茲，米³ /小時(shí)	2	2
所需馬達(dá)	發(fā)動(dòng)機(jī)	V，相，千瓦	200，3，0.75	200，3，2.2
轉(zhuǎn)速	轉(zhuǎn)速	50 Hz，m ³ /小時(shí)	3,000	1,500
轉(zhuǎn)速	轉(zhuǎn)速	60赫茲，米³ /小時(shí)	3,600	1,800
錄取	入口		VF-80	VF-80
排氣口	出口		VF-80	VF-80
用油	泵油		露臺(tái)油S46	露臺(tái)油S46
油量	油容量	大號	1個(gè)	2.8
大眾	大眾	公斤	93	242
尺寸（寬x深x高）	尺寸	毫米	708 x 320 x 250	963 x 416 x 350
冷卻方式	冷卻系統(tǒng)		風(fēng)冷	風(fēng)冷
冷卻水量	冷卻水	升/分	--	--
輔助泵	后備泵		DRP-1500，RP-1200ZⅡ	DRP-1500

模型	類型	單元	TMB-1500	TMB-2500
設(shè)計(jì)抽速	移位	50 Hz，m ³ /小時(shí)	1,350	2,070
設(shè)計(jì)抽速	移位	60赫茲，米³ /小時(shí)	1,630	2,500
極限壓力	極限壓力	帕	10 ^-2	10 ^-2
吸入側(cè)極限壓力	大工作壓力	50 Hz，m ³ /小時(shí)	2	2
吸入側(cè)極限壓力	大工作壓力	60赫茲，米³ /小時(shí)	1.3	1.3
所需馬達(dá)	發(fā)動(dòng)機(jī)	V，相，千瓦	200，3，3.7	200，3，5.5
轉(zhuǎn)速	轉(zhuǎn)速	50 Hz，m ³ /小時(shí)	1,500	1,500
轉(zhuǎn)速	轉(zhuǎn)速	60赫茲，米³ /小時(shí)	1,800	1,800
錄取	入口		VF-150	VF-200
排氣口	出口		VF-100	VF-100
用油	泵油		露臺(tái)油S46	露臺(tái)油S46
油量	油容量	大號	4.2	5.6
大眾	大眾	公斤	490	664
尺寸（寬x深x高）	尺寸	毫米	1,228 x 520 x 440	1,359 x 580 x 495
冷卻方式	冷卻系統(tǒng)		水冷	水冷
冷卻水量	冷卻水	升/分	--	--
輔助泵	后備泵		KP-4500BG	KP-7500BG

[TMB-302]
[TMB-600]

[TMB-1500]
[TMB-2500]

*規(guī)格和建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。

TMB系列性能曲線

*規(guī)格和建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。

預(yù)防措施

我們的羅茨真空泵是根據(jù)以下規(guī)格設(shè)計(jì)和制造的。
（1）進(jìn)氣類型的空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Kr，Xe，Rn···）
（2）吸入氣體的溫度5?40°C
（3）環(huán)境溫度
5-40 °C （4）常壓泵壓力約1.3k-10 ^-1 Pa
（5）其他切勿吸入大氣壓。切勿吸入水等液體。
*如果條件與上述條件不同，請與我們聯(lián)系。
當(dāng)在以下應(yīng)用中使用時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)真空泵會(huì)使油和腐蝕部件變質(zhì)，從而導(dǎo)致排氣性能下降并吉大地縮短泵的使用壽命。
（1）腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₃，HBr ₄ ···）[示例]
即使在※特殊規(guī)格的真空泵中也使用易燃或易爆的離子注入，蝕刻，CVD等不要吸入強(qiáng)物質(zhì)。
（2）起停次數(shù)多時(shí)